Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas. – Vilnius: Mokslo ir enciklopedijų leidybos institutas. Vytautas Valiukėnas, Pranas Juozas Žilinskas. 2006.
Lichtsteindruck — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
Photolithographie — (griech., Lichtsteindruck), die Kunst, mit Hilfe der Photographie Bilder aller Art auf den lithographischen Stein in Originalgröße, oder auch verkleinert oder vergrößert, zu übertragen und druckbar zu machen. Vgl. Fritz, Die P. (Halle 1894);… … Meyers Großes Konversations-Lexikon
Fotolithografie — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
fotolitografija — statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės į padėklą… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
lithophotographie — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithographie — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
photolithography — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
фотолитография — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Integrinių grandynų reikiamų matmenų ir pavidalo komponentams gaminti taikomų fotografinių ir fizikinių bei cheminių procesų, susijusių su vaizdo perkėlimu iš fotokaukės… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
Fotolithografie — fotolitografija statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus.… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
fotolitografija — statusas T sritis Standartizacija ir metrologija apibrėžtis Reljefinio piešinio sudarymas fotocheminiais būdais metale, stikle, puslaidininkyje. atitikmenys: angl. photolithography vok. Fotolithografie, f; Lichtsteindruck, m rus. фотолитография,… … Penkiakalbis aiškinamasis metrologijos terminų žodynas
